什么是电子束蒸发手艺?来体会一下

电子束蒸发手艺是一种新型外面处置方式,它行使高能电子束轰击质料外面,将固态质料直接从它的原始状态酿成气态,然后在真空情形中通过凝聚形成所需薄膜。

电子束蒸发手艺相比于传统热蒸发手艺,更能准确控制物料蒸发速率、沉积膜厚度和因素,从而可实现高质量沉积。而且电子束辐照历程中,除蒸发的物质外,不与真空室其它物质发生化学反映,沉积膜具有高化学纯度。同时,电子束蒸发手艺还可保证沉积膜的致密性和平均度,适用于种种晶体质料光学涂层、光电器件外壳、化学备件和半导体等领域。

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